この装置は、材料表面の微小部分の元素分析を行うものです。このため、機械部品表面の微小部分、電気部品の接点、薄膜材料の評価など、製品開発や品質管理等に利用されています。
当センターの装置は、同軸円筒型電子分光器を搭載しており、試料の凹凸の影響を受けにくいことが特長です。
また、外部の騒音・温度変化を低減するアコースティックエンクロージャを備えており、ナノメートルレベルの微細領域分析を長時間安定に行える点も特長です。
- メーカ・型式
- アルバック・ファイ株式会社
PHI－700 - 用 途
- 機械・電気部品など材料表面の元素分析、深さ方向分析、元素マッピング
(10nm以下の微小領域、厚さ5nm以下の極表面を分析可能) - 仕 様
- フィールドエミッション(FE)タイプ電子銃
同軸円筒鏡型電子分光器(CMA)
中和機能付 アルゴンイオン銃
アコースティックエンクロージャ - 設置年度
- 2009年
- 担 当
- 応用技術課 表面構造係
TEL 075－315－8634 FAX 075－315－9497
E-mail ouyou@kptc.jp - 使用料（基本額）
-
全仕様
イオン銃不使用 - 依頼試験手数料（基本額）
- こちらをご覧ください
- 公益財団法人JKA補助機器(競輪補助物件)
FEオージェ電子分光分析装置による分析例
亜鉛めっき上に発生したウィスカを分析しました。直径1μm未満のウィスカ部分のみを分析し、その構成元素を確認できました。
SEM写真（15,000倍）と分析箇所（1～2）
オージェ電子分光分析結果
参考情報