ＦＥオージェ電子分光分析装置

この装置は、材料表面の微小部分の元素分析を行うものです。このため、機械部品表面の微小部分、電気部品の接点、薄膜材料の評価など、製品開発や品質管理等に利用されています。当センターの装置は、同軸円筒型電子分光器を搭載してお […]

レーザプローブ式非接触三次元測定装置

この装置は、微小なレーザ・スポットを走査することで三次元座標を測定します。接触式では対応困難な微細部品や金型、電子部品、傷つきやすい素材などの形状観察・評価を行います。メーカ・型式三鷹光器株式会社 N […]