電子線マイクロアナライザ(EPMA)

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この装置は、物質がどのような元素から構成されているかを調べる装置で、電子線を物質の表面に照射し、そこから発生する特性X線を検出する方法を用いています。
製品・部品の混入物・付着物の元素分析検査、製品・部品の汚れの元素分析検査、特定元素の分布状況、表面 処理品・熱処理品の元素濃度分布測定が可能です。

メーカ・型式
日本電子株式会社
JXA-8200
性 能
電子銃 高輝度LaB6及びタングステンの切り替え可
最大試料寸法 100×100×50mm
加圧電圧 0.2~30KV
照射電流範囲 10-12~10-5A
二次電子像分解能 5nm(LaB6)
走査倍率 X40~300,000
透過電子検出器
カソードルミネセンスシステム
波長分散法(WDS)
分析元素範囲 ホウ素(B)からウラン(U)まで分光器数 5チャンネル
エネルギー分散法(EDS)
分析元素範囲 ホウ素(B)からウラン(U)まで
エネルギー分解能 133eV以下
分析ソフト
定性分析、半定量分析、定量分析(ZAF法、検量線法、Bence&Albee法、Phi-Rho-Z法、薄膜定量)、状態分析、 線分析、面分析(任意形状マップ、任意曲面マップ)、相分析、薄膜定量分析、波形分離ソフト、電子線侵入領域表示ソフト
設置年度
2005年
担 当
応用技術課 表面・微細加工担当
TEL 075-315-8634         FAX 075-315-9497
E-mail ouyou@kptc.jp
使用料(基本額)
WDS又はEDS
WDS及びEDS
WDS(カラーマッピングを含む)
全仕様
公益財団法人JKA補助機器(競輪補助物件)
keirin

活用事例

試料表面の狭い範囲(1~200μmφ)をある程度まで深く(数μm)分析する場合に用います。
電子線マイクロアナライザには、X線分析用の検出器と表面観察用の検出器(観察用の検出器だけなら走査電子顕微鏡(SEM)の利用が適当です)があり、観察用検出器で数百から数千倍程度に拡大して表面観察を行った後、位置を確認してその部分に電子線を照射し、X線分析用検出器で分析します。

分析のモードは(1)ある一点(1~200μm)に存在する全元素(ホウ素~ウラン)の定性・定量分析、(2)線上又は面上での特定元素の分布の把握等があります。微量又は特定微小部の元素分析や表面或いは断面からの元素分布を調べるのに有効です。