X線光電子分光分析装置

newesca

 固体試料にX線を照射し、表面から数 nm程度までの深さから放出される光電子のエネルギースペクトルを測定することにより、表面微小部(200μmφ範囲)の元素組成及び化学結合状態が分析できます。また、Arイオン銃の他に、有機物材料には低損傷で深さ方向分析ができるArガスクラスターイオン銃を搭載しています。

メーカ・型式
アルバック・ファイ株式会社
PHI5000 VersaProbe2
性 能
X線源 : モノクロメータ(Alアノード)、デュアルアノード(Mg/Al)
X線ビーム径 : φ10~200μm
X線スキャン範囲 : □1.4mm×1.4mm
最高エネルギー分解能 : 半値幅0.57eV(Ag3d)
Arイオン銃加速電圧 : 0.2~5kV
Arガスクラスターイオン銃加速電圧 : 1~20 kV
最大試料サイズ : φ60mm(高さ8mm)以下
用 途
金属材料、各種薄膜などの研究・開発や変色、表面変質などの原因解析等にご利用いただけます。
絶縁物試料には低エネルギー電子とArイオンの同時照射により帯電中和ができます。
設置年度
2014年度
担 当
応用技術課 表面・微細加工担当
TEL 075-315-8634        FAX 075-315-9497
E-mail ouyou@kptc.jp
使用料(基本額)
依頼試験 :
スペクトル分析              27,000円/件
深さ方向分析加算(イオン銃)         10,000円/時間
深さ方向分析加算(ガスクラスターイオン銃) 13,000円/時間
面分析加算                10,000円/時間  
     
機器貸付 :  
X線光電子分光分析装置(イオン銃)        10,000円/時間
X線光電子分光分析装置(ガスクラスターイオン銃) 13,000円/時間