グロー放電発光分析装置

guro

この装置は、Arグロー放電内で試料を高周波スパッタリングし、スパッタされた原子のArプラズマ内における発光線を分光することにより、深さ方向の元素分布を測定する機器です。

 

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クリエイティブ京都M&T 2016年4月号

メーカ・型式
株式会社堀場製作所
GD Profiler2
性 能
測定元素 :
  ポリクロメーター(H,Li,B,C,N,O,Na,Mg,Al,Si,P,S,Cl,Ar,K,Ca,Ti,V,Cr,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Mo,
           Ag,In,Sn,W,Au,Pb)
 モノクロメーター(H~U、1元素)

測定エリア:4mmφ(標準)、2mmφ、7mmφ
試料サイズ:10mm
深さ分解能:数nm
測定深さ:数nm~100μm(最大)

用 途
薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの各種表面処理品
表面改質品の深さ方向分析
設置年度
2014年度
担 当
基盤技術課 材料・機能評価担当
TEL 075-315-8633        FAX 075-315-9497
E-mail kiban@kptc.jp
使用料(基本額)
依頼試験 : 表面分析 3,800円/件  深さ分析 7,500円/件
機器貸付 : 7,500円/時間