グロー放電発光分析装置

guro

この装置は、Arグロー放電内で試料を高周波スパッタリングし、スパッタされた原子のArプラズマ内における発光線を分光することにより、深さ方向の元素分布を測定する機器です。

 

 

 

 

 

メーカー・型式
株式会社堀場製作所
GD　Profiler2
性　能
測定元素 ：
 　ポリクロメーター（H,Li,B,C,N,O,Na,Mg,Al,Si,P,S,Cl,Ar,K,Ca,Ti,V,Cr,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Mo,
　　　　　　　　　　　Ag,In,Sn,W,Au,Pb)
　モノクロメーター(H～U、1元素)

測定エリア：4mmφ(標準)、2mmφ、7mmφ
試料サイズ：10mm
深さ分解能：数nm
測定深さ：数nm～100μｍ(最大)

用　途
薄膜・めっき・熱処理・表面処理・コーティングなどの各種表面処理品
表面改質品の深さ方向分析
設置年度
2014年度
担　当
基盤技術課　材料評価係
TEL　075－315－8633        FAX　075－315－9497
E-mail　kiban@kptc.jp

使用料（基本額）
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依頼試験手数料（基本額）
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参考情報