分析型走査電子顕微鏡 (SEM-EDS)

ks05img

・比較的大型の試料最大(100mmφ×40mm)や磁性材料を高倍率で観察できる装置です。

・エネルギー分散型X線検出器(EDS)を搭載し、微小部分の簡易な元素分析や元素の分布を調べる(マッピング)ことが可能です。

 

こちらの記事も参考にしてくだい。
クリエイティブ京都M&T 2015年10月号

メーカ・型式
日本電子株式会社
JSM-7100F
性 能
電子銃    : ショットキー
対物レンズ : アウトレンズ型
表示倍率  : ×10~1,000,000
加速電圧  : 0.2kV~30kV
照射電流  : 数pA~200nA
次電子分解能 : 1.2nm(30kV)
         3.0nm(1.0kV)
最大試料寸法   : 100mmΦ×40mmt
試料ステージ    : X-70mm Y-50mm Z-3~41mm
           傾斜 -5~70° 回転 360°
元素分析(EDS): 検出元素(Be~U)
         定性・定量・マッピング機能
用 途
二次電子像による表面観察、反射電子像による組成分布の観察やEDSによる元素分析ができます。はんだ接合部やめっき断面の成分分析や、金属の破断の原因調査などにご利用いただけます。
設置年度
2014年度
担 当
基盤技術課 化学・環境担当
TEL 075-315-8633           FAX 075-315-9497
 E-mail kankyo@kptc.jp
使用料(基本額)
観察のみ
観察+元素分析
依頼試験手数料(基本額)
二次電子観察
反射電子観察
視野増し
元素分析(定性)