レーザプローブ式非接触三次元測定装置

<装置外観>

<装置外観>

<測定部>

<測定部>

この装置は、微小なレーザ・スポットを走査することで三次元座標を測定します。
接触式では対応困難な微細部品や金型、電子部品、傷つきやすい素材などの形状観察・評価を行います。

 

メーカ・型式
三鷹光器株式会社
NH―3SP
性 能
測定範囲  X,Y:150mm、Z:10mm
測定分解能  X,Y:0.01μm、Z:0.001μm
測定精度  X,Y:0.5+2.5L/1000μm、
     Z:0.1+0.3L/10μm 〔L:測定長さ(mm)〕
用 途
微細部品や金型、電子部品、柔らかい材料・
傷つきやすい素材などの形状観察・評価
設置年度
2009年
担 当
基盤技術課 機械設計・加工担当
TEL 075-315-8633         FAX 075-315-9497
E-mail kiban@kptc.jp
使用料(基本額)
こちらをご覧ください
公益財団法人JKA補助機器(競輪補助物件)
keirin

レーザ式非接触三次元測定装置による観察例

マスクパターン:X:200µm,Y:200µm,Z:50µm

マスクパターン:X:200µm,Y:200µm,Z:50µm

 紙の凹凸:X:10mm,Y:10mm,Z:0.6mm

紙の凹凸:X:10mm,Y:10mm,Z:0.6mm

ネジ山:X:5mm,Y:0.6mm,Z:0.8mm

ネジ山:X:5mm,Y:0.6mm,Z:0.8mm

回折格子:X:4µm,Y:5µm,Z:0.2µm

回折格子:X:4µm,Y:5µm,Z:0.2µm