分析型走査電子顕微鏡 (SEM-EDS)

　二次電子像による表面観察、反射電子像による組成分布の観察やEDSによる元素分析ができます。はんだ接合部やめっき断面の成分分析や、金属の破断の原因調査などにご利用いただけます。
　エネルギー分散型Ｘ線検出器(EDS)を搭載し、微小部分の元素分析や元素の分布を調べること(マッピング)が可能です。

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メーカ・型式
日本電子株式会社
JSM－7100F
性　能
電子銃　 　 ：　ショットキー
対物レンズ　：　アウトレンズ型
表示倍率　　：　×10～1,000,000
加速電圧　　：　0.2kV～30kV
照射電流　　：　数pA～200nA
二次電子分解能　：　1.2ｎｍ(30kV)
　　　　　　　　　3.0ｎｍ(1.0kV)
最大試料寸法　　 ：　100ｍｍΦ×40ｍｍｔ
試料ステージ　 　 ：　X－70ｍｍ　Y－50ｍｍ　Z－3～41ｍｍ
　　　　　　　 　　　傾斜　-5～70°　回転　360°
元素分析(EDS)：　検出元素(Be～U)
　　　　　　　　　定性・定量・マッピング機能
設置年度
2014年度
担　当
基盤技術課　化学分析係
TEL　075－315－8633           FAX　075－315－9497
 E-mail　kiban@kptc.jp

使用料（基本額）
観察のみ
観察＋元素分析
依頼試験手数料（基本額）
二次電子観察
反射電子観察
視野増し
元素分析(定性)

 

参考情報