レーザプローブ式非接触三次元測定装置

＜装置外観＞

＜装置外観＞

＜測定部＞

＜測定部＞

この装置は、微小なレーザ・スポットを走査することで三次元座標を測定します。
接触式では対応困難な微細部品や金型、電子部品、傷つきやすい素材などの形状観察・評価を行います。

 

メーカ・型式
三鷹光器株式会社
NH―3SP
性　能
測定範囲　　X，Y：150ｍｍ、Ｚ：10ｍｍ
測定分解能 　X，Y：0.01μｍ、Z：0.001μｍ
測定精度　 X，Y：0.5＋2.5L/1000μｍ、
　　　　　Z：0.1＋0.3L/10μｍ 〔L：測定長さ(mm)〕
用　途
微細部品や金型、電子部品、柔らかい材料・
傷つきやすい素材などの形状観察・評価
設置年度
2009年
担　当
基盤技術課　設計計測係
TEL　075－315－8633         FAX　075－315－9497
E-mail　kiban@kptc.jp

使用料（基本額）
こちらをご覧ください

公益財団法人JKA補助機器（競輪補助物件）
keirin

レーザ式非接触三次元測定装置による観察例

マスクパターン：Ｘ:200µm，Ｙ:200µm，Z:50µm

マスクパターン：Ｘ:200µm，Ｙ:200µm，Z:50µm

紙の凹凸：Ｘ:10mm，Ｙ:10mm，Z:0.6mm

紙の凹凸：Ｘ:10mm，Ｙ:10mm，Z:0.6mm

ネジ山：Ｘ:5mm，Ｙ:0.6mm，Z:0.8mm

ネジ山：Ｘ:5mm，Ｙ:0.6mm，Z:0.8mm

回折格子：Ｘ:4µm，Ｙ:5µm，Z:0.2µm

回折格子：Ｘ:4µm，Ｙ:5µm，Z:0.2µm

 

参考情報