ナノサーチ複合型顕微鏡

　ナノサーチ複合型顕微鏡は、光学顕微鏡・レーザー顕微鏡(LSM)・プローブ顕微鏡(SPM)の機能を一台に備え、切り替えを自在に行うことで観察対象物を見失うことなく、素早く詳細な形状観察ができる装置です。

 

 

 

 

 

 

メーカ・型式
株式会社島津製作所
SFT-4500
仕　様

レーザー顕微鏡部（LSM）
　光源　　　　　　　405nm半導体レーザー
　総合倍率　　　　　　108～17,280倍
　Z軸最大ストローク　76ｍｍ
　XYステージ　　　　100×100ｍｍ
プローブ顕微鏡部（SPM）
　光源　　　　　　　　659nm半導体レーザー
　変位検出系　　　　　光てこ方式
　最大走査範囲　　　　X-Y：100×100μｍ
　　　　　　　　　　　Z：25μｍ
　動作モード　　　　　コンタクト、ダイナミック、位相、電流、表面電位（KFM）、
　　　　　　　　　　　磁気力（MFM）

用　途
数十nmの段差計測、試料表面の粗さ測定、複数のパターンの形状解析、試料の物性解析など
・レーザー顕微鏡による広域形状観察
・プローブ顕微鏡による精密形状観察
・物性解析（位相変化による硬さ評価、磁気情報、電流分布、表面電位）
設置年度
2019年度
担　当
応用技術課　表面構造係
TEL　075－315－8634         FAX　075－315－9497
E-mail　ouyou@kptc.jp

使用料（基本額）
レーザー顕微鏡
レーザー＋プローブ顕微鏡
試料調整：回転式ミクロトーム

※試料調整に使用する切削ナイフ等は、機器借受者が持参してください。

依頼試験手数料（基本額）
レーザー顕微鏡観察
レーザー＋プローブ顕微鏡観察
試料調整：ナノサーチ複合型顕微鏡観察回転式ミクロトーム加工

公益財団法人JKA補助機器（競輪補助物件）
keirin

　　

 

参考情報