ナノサーチ複合型顕微鏡

 ナノサーチ複合型顕微鏡は、光学顕微鏡・レーザー顕微鏡(LSM)・プローブ顕微鏡(SPM)の機能を一台に備え、切り替えを自在に行うことで観察対象物を見失うことなく、素早く詳細な形状観察ができる装置です。

 

 

 

 

 

 

メーカ・型式
株式会社島津製作所
SFT-4500
仕 様

レーザー顕微鏡部(LSM)
 光源       405nm半導体レーザー
 総合倍率      108~17,280倍
 Z軸最大ストローク 76mm
 XYステージ    100×100mm
プローブ顕微鏡部(SPM)
 光源        659nm半導体レーザー
 変位検出系     光てこ方式
 最大走査範囲    X-Y:100×100μm
           Z:25μm
 動作モード     コンタクト、ダイナミック、位相、電流、表面電位(KFM)、
           磁気力(KFM)

用 途
数十nmの段差計測、試料表面の粗さ測定、複数のパターンの形状解析、試料の物性解析など
・レーザー顕微鏡による広域形状観察
・プローブ顕微鏡による精密形状観察
・物性解析(位相変化による硬さ評価、磁気情報、電流分布、表面電位)
設置年度
2019年度
担 当
応用技術課 表面・微細加工担当
TEL 075-315-8634         FAX 075-315-9497
E-mail ouyou@kptc.jp
使用料(基本額)
レーザー顕微鏡
レーザー+プローブ顕微鏡
試料調整:回転式ミクロトーム
※試料調整に使用する切削ナイフ等は、機器借受者が持参してください。
依頼試験手数料(基本額)
レーザー顕微鏡観察
レーザー+プローブ顕微鏡観察
試料調整:ナノサーチ複合型顕微鏡観察回転式ミクロトーム加工
公益財団法人JKA補助機器(競輪補助物件)
keirin