分光エリプソメータ【平成29年度新規導入】

 分光エリプソメータは化学、電気・電子、自動車、機械・金属等の幅広い分野において、部品部材およびコーティング膜の光学特性評価の測定に用いる装置です。材料の屈折率や消衰係数等の光学特性をはじめとして、膜厚や表面ラフネスの算出が可能です。
 特に本機器は今後需要が見込まれる紫外光から近赤外光までの測定および小型部品に対する微小部分の測定が可能です。

 

 

 

主な導入機器(メーカ・型式)
・株式会社堀場製作所 UVISEL2
仕様
光源 150Wキセノンランプ
波長範囲 190~2100nm
分光器・検出器
 ・FUV-Vis:ダブルモノクロメータ・PMT検出器
 ・NIR:シングルモノクロメータ・InGaAs検出器
ゴニオメータ 35~90°
試料ステージ 200×200×H30mm
最少スポットサイズ 35×85μm(70°)
用 途(試験項目、周波数、試験レベルなど)
薄膜材料の光学特性評価
・多層膜解析(モデリング&シミュレーション)
・膜厚解析
・マッピング測定
・素材・部品材料の分析
設置年度
2017年度
担 当
応用技術課 表面・微細加工担当
TEL 075-315-8634      FAX    075-315-9497
E-mail ouyou@kptc.jp
使用料(基本額)

機器貸付 8,500円/1時間
依頼試験 8,500円/1件

公益財団法人JKA補助機器(競輪補助物件)
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