曲面微細形状測定システム

kyokumen-n2

 

 

 

 

 

 

 

この測定機を用いることにより、様々な形状をした部品等の表面に触針をあてて一方向にトレースした際に計測される波形を解析することにより、表面粗さや微細な輪郭形状を測定できます。そして、測定箇所を順次スライドさせて計測することで、三次元での解析を行うこともできます。併せて、このシステムでは、非接触で素早く測定できる機器も備えています。

 

メーカ・型式
<接触式測定>
  アメテック株式会社 テーラーホブソン事業部(イギリス)
  フォームタリサーフ PGI1200
<非接触式測定>
  株式会社キーエンス VR-3200(パターン光投影法)
性 能
<接触式測定>
  測定範囲 :X=120mm、Y=100mm、Z=12.5mm
  測定分解能 : 0.8nm(Z方向)
   システムノイズ : 2nm(Rq)以下
 <非接触式測定>
   観察測定範囲 : 24×18mm ~ 1.9×14mm(連結可能)
   電動XYステージ(移動量:184mm×88mm)
用 途
二次元測定 : 金属等の表面の粗さやうねり測定、薄膜の段差測定、輪郭形状測定
三次元測定 : 表面粗さ測定、表面形状測定
設置年度
2014年度
担 当
基盤技術課 機械・設計加工担当
 TEL 075-315-8633    FAX    075-315-9497 
 E-mail kikai@kptc.jp
使用料(基本額)
接触式測定
非接触式測定
依頼試験手数料(基本額)
表面粗さ
輪郭形状

活用事例

<測定例>

粗さ測定例
 (各種パラメータに対応、Rz,Ra,Rzjis etc ISO4287に準拠)

kyoku-katu-1

微細な曲面の形状解析

kyoku-katu-2

最新のパラメータに準拠した3D解析
 (ISO25178に準拠)

kyoku-katu-3