蛍光X線膜厚計

maku

この装置は各種電気めっき、無電解ニッケルめっきなどの金属薄膜の膜厚を精度良く測定することができます。

 

こちらの記事も参考にしてくだい。
クリエイティブ京都M&T 2016年2月号

クリエイティブ京都M&T 2017年12月号

メーカ ・ 型式
株式会社 日立ハイテクサイエンス
EA6000VX
仕 様
・ 測定元素 : Na(原子番号11)~U(原子番号92)
・ 線源 : Rhターゲット
 管電圧最大 50kV
 管電流最大 1000μA
・ 検出器 : マルチカソードSi半導体検出器
・ 測定領域 : 0.2、0.5、1.2、3.0mm□
・ 測定機能 : 検量線モードによる単層、二層、合金膜厚測定
       薄膜FPモードによる最大4層の膜厚測定
       定性分析・マッピング測定
・ 試料最大サイズ : 250mm(奥行き)×580mm(幅)×730mm(高さ)
設置年度
2014年
担 当
応用技術課 表面・微細加工担当
TEL 075-315-8634         FAX 075-315-9497
E-mail ouyou@kptc.jp
使用料(基本額)
こちらをご覧ください
  

活用事例

(1)製品の測定
 試料室が大きいため、切断できない製品や文化財等の試料をそのまま観察しながら大気中で測定することができます。

                     

                                      
(2)定性分析
 定性分析により、30秒程度で有害物質のスクリーニングができます。また、測定場所を予め設定しておくことで、自動多点測定も可能です。

 


(3)膜厚測定
 膜厚既知の標準試料を測定し、膜厚と蛍光X線強度の関係を把握すること(検量線法)、または理論計算(薄膜FP法)により素材上の膜厚を測定します。単層膜だけでなく最大4層までの多層膜の膜厚測定が可能です。

 


 (4)マッピング測定
 元素マッピングにより、どの元素がどのように分布しているかを高速かつ視覚的に取得することができます。ここでは、パソコンのマウスを非破壊でそのまま測定した結果を図4で紹介します。
 このように、ノートPCや携帯電話などの電気製品はX線を透過する樹脂部品に覆われており、外装部分を透かして、内部の部品構造を取得することが可能です。