曲面微細形状測定システム

kyokumen-n2

 

 

 

 

 

 

 

この測定機を用いることにより、様々な形状をした部品等の表面に触針をあてて一方向にトレースした際に計測される波形を解析することにより、表面粗さや微細な輪郭形状を測定できます。そして、測定箇所を順次スライドさせて計測することで、三次元での解析を行うこともできます。併せて、このシステムでは、非接触で素早く測定できる機器も備えています。

 

メーカ・型式
＜接触式測定＞
　　アメテック株式会社　テーラーホブソン事業部(イギリス)
　　フォームタリサーフ　PGI1200
＜非接触式測定＞
　　株式会社キーエンス　VR－3200(パターン光投影法)
性　能
＜接触式測定＞
　　測定範囲 ：Ｘ＝120mm、Ｙ＝100mm、Ｚ＝12.5mm
　　測定分解能 ： 0.8nm(Ｚ方向)
  　システムノイズ ： 2nm（Rq)以下
 ＜非接触式測定＞
 　　観察測定範囲 ： 24×18mm ～ 1.9×14mm(連結可能)
 　　電動XYステージ(移動量：184mm×88mm)
用　途
二次元測定 ： 金属等の表面の粗さやうねり測定、薄膜の段差測定、輪郭形状測定
三次元測定 ： 表面粗さ測定、表面形状測定
設置年度
2014年度
担　当
基盤技術課　設計計測係
 TEL　075－315－8633    FAX    075－315－9497 
 E-mail　keisoku@kptc.jp

使用料（基本額）
接触式測定
非接触式測定
依頼試験手数料（基本額）
表面粗さ
輪郭形状

活用事例

＜測定例＞

粗さ測定例
　(各種パラメータに対応、Rz,Ra,Rzjis etc　ISO4287に準拠)

kyoku-katu-1

微細な曲面の形状解析

kyoku-katu-2

最新のパラメータに準拠した3D解析
　(ISO25178に準拠)

kyoku-katu-3　　

 

参考情報