この装置は、各種材料の微細構造の高倍率観察に利用できます。光学顕微鏡では観察不可能な微小な表面を観察でき、焦点深度が深いので、立体感のある鮮明な像が得られます。
- メーカ・型式
- 日本電子株式会社
JSM－6701F - 性 能
- 電 子 銃 ： 冷陰極電界放出形電子銃
二次電子像分解能 ： 1ｎｍ(15kV) 2.2ｎｍ(1kV)
反射電子像分解能 ： 3ｎｍ(15kV)
表示倍率 ： 25～650,000倍
加速電圧 ： 0.5～30kV
試料ステージ ： 5軸モーター駆動ステージ
Ｘ－Ｙ ：70×50ｍｍ、回転：360°
作動距離 ： 1.5～25ｍｍ、傾斜：－5～＋60° - 設置年度
- 2006年
- 担 当
- 基盤技術課 化学分析係
TEL 075－315－8633 FAX 075－315－9497
E-mail kiban@kptc.jp - 使用料（基本額）
- こちらをご覧ください
- 公益財団法人JKA補助機器（競輪補助物件）
活用事例
金属材料、半導体材料、セラミックスなどの各種試料の観察に用いられ、新製品・新素材等の開発や品質管理、クレーム品の問題解明等に活用できます。
- 試料表面の凹凸や微細構造
- 微粒子の大きさや凝集状態
- 部品の破断面や構造欠陥などの観察
特徴
電解放出型走査電子顕微鏡(FE－SEM))なので、高分解能観察が可能であり、電子線照射に弱い試料も低加速電圧で観察ができます。
留意点
- 電子線を発生する必要から、試料を真空の試料室にいれなければならず、試料は高真空(10-4Paレベル)中で安定であることが必要です。水分やガスを出す試料の観察はできません。
- 試料サイズ(最大試料寸法：32ｍｍΦ×20ｍｍ(h)、150ｍｍΦ ×10ｍｍ(h)）や観察範囲に制約があります。
- 磁性体試料の観察はできません。
- 有機材料などの絶縁性の試料については、試料表面に導電性を持たせるため、金属コーティング処理を行い観察を行います。
(検索ﾜｰﾄﾞ:非表示),SEM,sem,電顕
参考情報