走査電子顕微鏡(SEM)

sem01

この装置は、各種材料の微細構造の高倍率観察に利用できます。
光学顕微鏡では観察不可能な微小な表面を観察でき、焦点深度が深く、また高い分解能が得られるので立体感のある鮮明な像が得られます。
走査電子顕微鏡は、細く絞った電子線を試料に二次元的に走査照射することで、試料から発生する二次電子などを検出し、画像化することにより、微小部領域での表面観察を行います。

メーカ・型式
日本電子株式会社
JSM-6701F
性 能
電 子 銃    : 冷陰極電界放出形電子銃
二次電子像分解能 : 1nm(15kV) 2.2nm(1kV)
反射電子像分解能 : 3nm(15kV)
表示倍率     : 25~650,000倍
加速電圧     : 0.5~30kV
試料ステージ   : 5軸モーター駆動ステージ
X-Y :70×50mm、回転:360°
作動距離     : 1.5~25mm、傾斜:-5~+60°
設置年度
2006年
担 当
基盤技術課 化学・環境担当
TEL  075-315-8633         FAX  075-315-9497
E-mail kiban@kptc.jp
使用料(基本額)
こちらをご覧ください
公益財団法人JKA補助機器(競輪補助物件)
keirin

活用事例

金属材料、半導体材料、セラミックスなどの各種試料の観察に用いられ、新製品・新素材等の開発過程における試作品等の評価や品質管理、クレーム品の問題解明等に活用できます。

  • 試料表面の凹凸や微細構造
  • 微粒子の大きさや凝集度
  • 部品の破断面や構造欠陥などの観察

特徴

電解放出型走査電子顕微鏡(FE-SEM))なので、高分解能観察が可能であり、電子線照射に弱い試料も低加速電圧で観察ができます。

留意点

  • 電子線を発生する必要から、試料を真空の試料室にいれなければならず、試料は高真空(10-4Paレベル)中で安定であることが必要です。水分やガスを出す試料の観察はできません。
  • 試料サイズ(最大試料寸法:32mmΦ×20mm(h)、150mmΦ ×10mm(h))や観察範囲に制約があります。
    試料は扱いやすい程度で小さいもの(10mmΦ程度)が適当です。
  • 磁性体試料の観察はできません。
  • 有機材料などの絶縁性の試料については、試料表面に導電性を持たせるため、金属コーティング処理を行い観察を行います。