有機・無機材料のサブミクロン領域の微細な表面構造解析、元素分析、結晶方位解析ができます。
- メーカ・型式
- 日本電子
JSM-IT300HR 及びJED-2300 Analysis Station Plus - 性 能
- 分解能 [高真空モード]1.5nm(30kV)
[低真空モード]1.8nm (15kV)
倍率 5～600,000倍
元素分析(EDS) Be～U 定性・定量分析 元素マッピング機能付き
試料ステージ X:125,Y:100,Z:80mm
傾斜 -10～90度 - 回転 360度
- 用 途
- 各種試料の表面観察
- 設置年度
- 2017年度
- 担 当
- 中丹支援技術室
- TEL 0773－43－4340 FAX 0773－43－4341
E-mail chutan@kptc.jp - 使用料（基本額）
-
観察のみ
観察＋元素分析
観察＋結晶方位分析
観察＋元素分析＋結晶方位分析
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- ☆よくある質問（FAQ）
-
(1)装置に入れられる試料のサイズや形状について教えてください。
最大試料寸法は、φ50mm×40mmtです。
(2)導電性のない試料は観察（分析）できますか。
低真空モードを使用することで前処理なしで観察・分析できます。
前処理として、表面に金を薄くコーティングし、導電性テープで固定することで、より鮮明な観察像を得ることができます。
(3)結晶方位解析（EBSD）に必要な前処理を教えてください。
試料サイズはφ10mm以下×2mmt以下です。
測定に必要な前処理は次のとおりです。
①試料サイズの調整が必要な場合は、試料を切断する。
②測定面を研磨し、鏡面仕上げを行う。
③クロスセクションポリッシャ（イオンミリング）により測定面を加工する。
＊前処理に必要な金相試料作成装置及びクロスセクションポリッシャは貸付機器としてご利用いただけます。
参考情報