ナノインデンテーション試験機

nano

 本装置では、めっき皮膜やDLCなどのセラミックコーティング膜、有機薄膜、樹脂フィルムなどマイクロメートル以下の薄膜の硬さやヤング率の評価を下地の影響を受けることなく、精度良く行うことができます。

 

※こちらの記事も参考にしてくだい。
「ナノインデンテーション試験機」
クリエイティブ京都M&T 2014年2月号
「ナノインデンテーション試験によるめっき膜の硬度測定」
クリエイティブ京都M&T 2015年12月号

メーカ・型式
株式会社エリオニクス ENT-2100
性 能
荷重範囲 : 5μN~100mN
変位計測範囲 : ~50μm
試料サイズ : 直径50mm×厚さ10mm(最大)
その他 : バーコビッチ圧子、球状圧子R100μm、
     平面圧子□20、□100μm
用 途
・PVD、CVD、DLCなどの硬質ドライコーティング膜の評価
・めっき皮膜、金属表面改質層の硬さ試験
・塗膜や樹脂フィルムの物性試験、耐候劣化評価
・半導体デバイス用、導電膜、絶縁膜、配線パターンめっきの評価
設置年度
2013年度
担 当
基盤技術課 材料・機能評価担当
TEL 075-315-8633         FAX 075-315-9497
E-mail kiban@kptc.jp 
使用料(基本額)
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