ナノインデンテーション試験機

nano

　本装置では、めっき皮膜やDLCなどのセラミックコーティング膜、有機薄膜、樹脂フィルムなどマイクロメートル以下の薄膜の硬さやヤング率の評価を下地の影響を受けることなく、精度良く行うことができます。

 

 

メーカ・型式
株式会社エリオニクス　ENT－2100
性　能
荷重範囲 ： 5μＮ～100mN
変位計測範囲 ： ～50μｍ
試料サイズ ： 直径50mm×厚さ10mm(最大)

用　途
・PVD、CVD、DLCなどの硬質ドライコーティング膜の評価
・めっき皮膜、金属表面改質層の硬さ試験
・塗膜や樹脂フィルムの物性試験、耐候劣化評価
・半導体デバイス用、導電膜、絶縁膜、配線パターンめっきの評価
設置年度
2013年度
担　当
基盤技術課　材料評価係
TEL　075－315－8633         FAX　075－315－9497
E-mail　kiban@kptc.jp　

使用料（基本額）
こちらをご覧ください

 

参考情報