蛍光X線膜厚計 (場所:綾部)

メーカ・型式
エスアイアイ・ナノテクノロジー
SFT9400
性 能
測定元素:Ti~Bi
X線管:電圧50kV 電流1.5mA
測定ソフト:薄膜FP法、検量線法
用 途
金属薄膜の膜厚測定
設置年度
2007年
担 当
中丹支援技術室
TEL 0773-43-4340     FAX 0773-43-4341
E-mail chutan@kptc.jp
使用料(基本額)
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