メーカ・型式

日本電子
ＪＳＭ－６３９０ＬＡ

性　能

分解能［高真空モード］：3.0nm（二次電子像、30ｋV）
分解能［低真空モード］：4.0nm（反射電子像、30ｋＶ）
倍率：5～300,000倍
加速電圧：0.5～30ｋV
エネルギー分散形Ｘ線分析 検出元素：B～U

用　途

各種試料の表面観察及び元素分析

設置年度

2007年

担　当

中丹支援技術室
TEL　0773－43－4340     FAX　0773－43－4341
E-mail　chutan@kptc.jp

使用料（基本額）

観察のみ
観察＋元素分析

　

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