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♦マイクロ・ナノ融合加工技術研究会
マイクロ・ナノ融合加工技術研究会 - マイクロ・ナノ融合加工技術研究会は、最新の微細加工技術（半導体加工技術及び精密加工技術）のシーズ発信と参 加企業の固有技術の融合を図り、新たな技術提携の場を提供することを目的に年４回の例会を開催しています。各例会では、各種加工技術に関するテーマを設定し、これに関する研究シーズや将来の方向性を大学等の研究者からご提案いただくと供に、製品開発の立場から、関連企業の技術者から先進事例等について発表いただいています。[全文を読む]
- ウェットエッチング加工技術のMEMSデバイスへの応用
オムロン株式会社 マイクロデバイス事業部
MEMS開発課 笠井隆氏
センシング＆コントロール
オムロン株式会社が目指しているのは、「人と機械のベストマッチング」です。これまでの人と機械との関係は、人が機械を使いこなすというものでした。しかし、これからは人が意図せずとも機械を使いこなせる社会を実現し、「安心、安全、健康、環境」をより確かなものにすることが生活の向上につながると考えます。[全文を読む] - ♦機器紹介
- ナノの膜を調べる！ X線光電子分光分析装置（XPS）
- 今回は、X線光電子分光分析装置（XPS）をご紹介します。この装置は、およそ1ナノメートル（1ナノメートルは、100万分の1ミリメートル）の非常に薄い膜の成分を調べることができる分析装置です。電子部品やディスプレイ用部品の表面解析に活用されています。[全文を読む]
- ♦研究報告から
めっきの密着性改善による微細構造体の作製
～密着強度の評価方法について～
- 北垣 寛（応用技術課 主任研究員）
- MEMS、ナノインプリント等に用いられる微細成形金型には、ニッケル電鋳金型が多用されます。この場合、ニッケル電鋳の厚さが薄いと電鋳金型の離型面のゆがみや耐久性が問題となるために厚くすることが必要ですが、電鋳時間が長くなり生産性が低下する点が問題となっています１） ２）。そこで、当センターではこれらを解決する手段として、成形金型母材の表面に微細な凹凸構造物（以下、微細構造体という）をめっきにより直接形成するUV−LIGA３）プロセスを検討してきました4）。当該加工方法において、ニッケルめっきによる複数の微細突起部と基板（成形金型母材）間の接合強度が射出成形加工に十分な耐久性があることを確認する必要があり、本報告では、エポキシ系接着剤を利用した引張試験による評価方法を検討しましたのでご紹介します。[全文を読む]
- ♦新規導入機器紹介
フーリエ変換赤外分光光度計の紹介
- 京都府中小企業技術センターでは、中小企業が持つ「強み」を活かして力強く活動 できるよう、技術開発等に関する支援を行うため、高度な試験・研究用機器を設置し、依頼試験や機器貸付を行っています。[全文を読む]
- ♦けいはんな分室から
けいはんなラボコミュニティ（KLC）
- 関西文化学術研究都市に立地するけいはんなプラザ・ラボ棟では、起業家ベンチャー企業同士が交流を深め、共にけいはんな地域の発展を目指す会員組織が発足しました。今回は、様々な展開をみせる「けいはんなラボコミュニティ」の活動状況について会員の皆様にお話を伺いました。[全文を読む]
- ♦技術センターからお知らせ
行事予定表