講演1「DLC膜を用いた無潤滑転動の実用化」 
　　　　　兵庫県立大学大学院工学研究科　准教授　阿保　政義氏

　DLCをイオン化蒸着法、アークイオンプレーティング法、
スパッタリング法まどで作製した場合、残留内部応力が
10GPa以上になり、1μm以上の厚膜になると剥離やクラックが
生じるため、単層厚膜の作製は困難です。一方、プラズマ
イオン注入とプラズマCVDを組み合わせたプラズマイオン
注入成膜(Plasma-based ion implantation and deposition,PBIID)
法では、炭化水素系ガスを用いたプラズマCVDによってDLC膜を
堆積させながら同時に5～20kevの高エネルギー炭素イオンを連続
的に注入することで、DLC膜内の応力を緩和し、1μm以上の単層
厚膜が作製できます。本講演では、スラスト型転がり疲労寿命試
験機を用いてPBIID法でDLCを成膜されたステンレス鋼球の転がり
寿命と摩擦特性を無潤滑下で調査し、DLC成膜鋼球による無潤滑
ボールねじ実用化の可能性を検討した結果を紹介します。

講演2「高密度プラズマで高速成膜が可能
　　　　　～PIGプラズマCVD法によるDLCコーティング」
　　　　　神港精機株式会社　寺山　暢之氏

　低エネルギーで大電流イオンが用意に得られるPIG(Penning
Ionization Gauge)タイプのプラズマガンを独自開発し、これを
CVD装置として商品化してきた。
　本講演では、本方式の特徴と最近の適用事例を紹介します。
講師による技術相談・当センター成膜装置見学(希望者)