この装置は、容器内を真空状態にして金属などの物質に熱を加え蒸発させ、真空中で気体になった金属などの物質の分子が試料に衝突、付着することで膜が形成されコーティングできます。

メーカ・型式

日本真空技術株式会社
EBH－6

性　能

真空排気装置：DP
加熱源：抵抗加熱
試料：固定式10ｃｍ角まで

設置年度

1981年

担　当

応用技術課　表面構造係
TEL 　075－315－8634       FAX　075－315－9497
E-mail　ouyou@kptc.jp

使用料（基本額）

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活用事例

4inchシリコンウエハ表面にめっきシード層として、当装置によってCr／Niを蒸着後。
ニッケルめっき電鋳によって微細金属構造体を試作した例。