
この装置は、容器内を真空状態にして金属などの物質に熱を加え蒸発させ、真空中で気体になった金属などの物質の分子が試料に衝突、付着することで膜が形成されコーティングできます。
- メーカ・型式
- 日本真空技術株式会社
EBH-6 - 性 能
- 真空排気装置:DP
加熱源:抵抗加熱
試料:固定式10cm角まで - 設置年度
- 1981年
- 担 当
- 応用技術課 表面構造係
TEL 075-315-8634 FAX 075-315-9497
E-mail ouyou@kptc.jp - 使用料(基本額)
- こちらをご覧ください
活用事例
4inchシリコンウエハ表面にめっきシード層として、当装置によってCr/Niを蒸着後。
ニッケルめっき電鋳によって微細金属構造体を試作した例。