分光エリプソメータを導入します!(平成30年2月6日~供用開始)

当センターでは、公益財団法人JKAの平成29年度補助事業により、薄膜材料分析が可能な分光エリプソメータを導入します。材料の屈折率や消衰係数等の光学特性の算出をはじめ、膜厚やラフネスの評価が可能です。

 

機器のお披露目を兼ねて、2月22日(木)に装置利用説明会を開催します。
ご興味のある方は、ぜひご参加ください。
 説明会の案内はこちらから

分光エリプソメータの概要

○導入機器

 株式会社堀場製作所 UVISEL2

○仕 様

  • 光源 150Wキセノンランプ
  • 波長範囲 190~2100nm

  • 分光器・検出器
    FUV-Vis:ダブルモノクロメータ・PMT検出器
    NIR:シングルモノクロメータ・InGaAs検出器

  • ゴニオメータ 35~90°

  • 試料ステージ 200×200×H30mm

  • 最少スポットサイズ 35×85mm(70°)keirin

○用 途

薄膜材料の光学特性評価

  • 多層膜解析(モデリング&シミュレーション)
  • 膜厚解析
  • マッピング測定
  • 素材・部品材料の分析

使用料(基本額)

  • 機器貸付 8,500円/1時間
  • 依頼試験 8,500円/1測定

 

 

申込み・問い合わせは、
応用技術課 表面・微細加工担当
京都市下京区中堂寺南町134(京都府産業支援センター内)
TEL 075-315-8634 FAX 075-315-9497
E-mail ouyou@kptc.jp